三維表面形貌測量儀InfiniteFocus

三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G5

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發生產的集微型三坐標測量和表面形貌測量于一體的光學測量系統。

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G5的突出特點：

一款*的3D光學測量儀

InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量系統和表面粗糙度測量系統所有的功能。

萬能和高效

LED環形燈的設計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。

高分辨，高可重復性和可溯源

即使對于復雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率

高測量速度

InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。

模塊化和可擴展性

新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合

全自動

測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G5的主要技術參數：

位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm

樣品表面結構：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2µm，取決于表面結構

大樣品高度：100mm ～ 345mm

大樣品重量：30kg

水平分辨率：0.44µm

垂直分辨率：10nm

大掃描高度：22.5mm

大擴展視野范圍：10000mm2

大單一方向掃描范圍：100mm

測量速度:170萬個測量點/秒

小測量高度：0.01µm

大測量高度：22.5mm

大測量范圍：10000mm2

大測量形貌長度：100mm

小可重復性：0.001µm

小測量粗糙度（Ra）：0.03µm

小測量粗糙度（Sa）：0.015µm

小測量半徑：1µm

小測量垂直角度：20°

大測量傾斜角度：87°

自動變焦 G5比InfiniteFocus G4擁有更優越的性能

測量速度增加20倍

自動設置

適用更多材料及更復雜表面的測量

更穩定，更精密的測量

測量精度更高，尤其對于大范圍面積樣品的測量